

Pfeiffer ACP 15 G 型多级罗茨真空泵 V5GATSRGAF
品牌: DigiVac
型号: Pfeiffer ACP 15 “G” Multi-stage Root Pump For Pumping Traces of Corrosive Gas | V5GATSRGAF
Pfeiffer ACP 15 G 型干式多级罗茨真空泵,专为抽除微量腐蚀性气体设计。采用无油摩擦less结构,配备惰性气体吹扫保护轴承,确保无颗粒污染和碳氢化合物回流。支持90-254V宽电压输入,维护周期长达20,000小时,适用于离子束、负载锁等精密工艺。
产品详情
Pfeiffer ACP 15 G 型多级罗茨真空泵
Alcatel Adixen ACP15G 干式真空泵(旧型号 V5GATSRFAF 已升级为当前型号V5GATSRGAF)是专为处理微量腐蚀性气体而设计的**设备。该泵采用独特的惰性气体吹扫系统,有效保护泵轴承免受腐蚀介质侵害。
核心优势
- 专用防腐蚀设计:G 版本特别针对微量腐蚀性气体抽吸优化,通过惰性气体吹扫流稀释腐蚀介质,**保护内部组件。
- 无油无污染:作为 ACP 系列的无油多级罗茨泵,**抽速达15 m3/h。摩擦less设计确保气流路径中无磨损件,杜绝颗粒污染。
- 零回流风险:泵腔内部**无润滑剂,**消除碳氢化合物蒸气回流问题,优于产生**密封粉尘的干式涡旋泵及存在回流风险的油封旋片泵。
- 性能恒定可靠:提供稳定的抽速、**连续入口压力及极限压力。自 1988 年以来,凭借在无油多级罗茨泵领域的深厚积淀,确保**可靠性。
- 超低维护成本:无需年度现场服务,ACP 15 型号仅需每20,000 小时进行一次全面大修,显著降低拥有成本(COO)。
Pfeiffer ACP 15 G 型泵基于无摩擦多级罗茨设计理念。其泵送模块内部无需润滑剂,不仅实现了无油、无颗粒的干式真空环境,更通过智能集成变频器适应**电压标准。
技术规格与特性
该系列泵内置单相集成变频器和即时电压选择功能,无需调整电机设置即可在90 至 254 VAC(50 或 60 Hz)的任何输入电压下运行,同时保持转速和抽速恒定。这一特性使其成为 OEM 应用及移动设备的**选择,无论身处何地均可直接使用。
具体参数包括:抽速8.2 cfm (15 m3/h),极限压力37.5 mTorr,风冷散热,集成数字定时器,标配KF25 进气口及KF16 排气口。
典型应用领域
- 工艺监控
- 聚焦离子束 (Focused ion beams)
- 负载锁与传输室 (Load-locks and transfer chambers)


