Agilent IDP-15 干式涡旋真空泵 (PN X3815-64010)
品牌: DigiVac
型号: Agilent IDP-15 Dry Scroll Vacuum Pump, with inlet Isolation Valve | 9 CFM | 115V or 230V (PN X3815-64010)
Agilent IDP-15 是一款集成入口隔离阀的无油干式涡旋真空泵，提供 9 CFM 抽速。相比传统旋片泵，它更清洁、安静且易于维护，适用于科研、工业及仪器分析等多种洁净真空应用。
产品详情
产品概述
Agilent IDP-15 全密封干式涡旋真空泵（型号 X3815-64010），支持 115-230VAC 电压，并配备集成式入口隔离阀。该隔离阀安装在模块内部，不增加泵入口高度。当泵失去电源时，它能有效防止空气通过入口反向迁移，避免客户腔体或仪器在系统断电时突然放气。
隔离阀机制采用弹簧保持常闭状态；泵内的低压用于压缩弹簧以保持阀门开启。断电时，电磁阀打开并对真空泵排气，导致入口隔离阀关闭，关闭时间通常为 20 毫秒。恢复供电后，电磁阀关闭，泵内开始抽气，入口隔离阀将在约 10 秒后重新打开。
核心优势：清洁、安静、可靠、无油
- 清洁且维护更少
- 无油设计，无需更换泵油
- 无需担心油回流或迁移到您的工艺中
- 超静音运行：运行时噪音极低，即使在旁边也能轻松交谈（约 50 dBA）
- 卓越性能：在 60 Hz 下提供 9.04 CFM (15.4 m³/h) 的抽速，极限真空度可达 10 millitorr
- 低振动：涡旋设计显著减少振动，保护精密实验室设备
比同类尺寸泵性能更优
IDP 系列干式泵能快速抽至低极限压力，最大化分子泵性能及系统可靠性。
泵内与实验室环境更清洁
- 不使用可能泄漏、溢出或渗入真空系统的油，有利于工艺、实验室及环境
- 全密封设计提供清洁的气体路径，消除油或油脂污染风险，使电机和轴承在大气压下运行，与真空工艺气体或水蒸气隔离
停机时间更少，拥有成本更低
- 传统泵需要数小时的定期维护及昂贵的加油、换油和处置费用，且有泵卡死风险
- IDP 涡旋泵仅需每 2-3 年简单更换尖端密封件，耗时约 15 分钟
技术规格
抽速：256 升/分钟 或 15.4 m³/小时 | 9 CFM
极限压力：13.3 x 10-3 mbar 或 10 x 10-3 Torr (典型值 20 mTorr)。若发现极限压力随时间逐渐升高，即提示需更换尖端密封件。
入口连接：NW25
排气连接：NW16
您可另行购买配套的翼形夹和中心定位环。如需针对特定应用的系统搭建帮助，我们的真空工程师团队可为您提供一站式解决方案。
典型应用领域
学术与研究：政府研究实验室、大学实验室、高能物理/光束线
工业应用：手套箱、晶体生长、LED/照明制造、冷冻干燥、凝胶干燥、样品制备
仪器仪表：低温学、电子显微镜、氦气再循环、检漏仪、质谱仪、离子注入、表面科学仪器
合规认证：CE, CSA, RoHS
