DigiVac FYRA Pirani Piezo 真空计 (7.5 x 10-5 至 1000 Torr)
品牌: DigiVac
型号: FYRA Pirani Piezo Vacuum Gauge 7.5 x 10-5 to 1000 Torr | SmartSENS Gauge, UL, CSA, CE
DigiVac FYRA SmartSENS 真空计结合了量子皮拉尼与压电技术，测量范围覆盖 7.5 x 10-5 至 1000 Torr。专为 PVD、半导体制造及质谱仪设计，提供简化的真空科学与控制方案。
产品详情
FYRA Pirani & Piezo 高真空计
FYRA Pirani & Piezo 真空计 (SmartSENS) 是一款高端真空计，融合了 DPP Quantum 规管与 DigiVac 创新的 FYRA 控制器。DPP 结合了量子皮拉尼与压电技术，拥有7.5 x 10-5 Torr 至 1000 Torr的宽广测量范围。
简化的真空科学
我们深知真空应用的复杂性。FYRA 旨在通过轻松集成到市场上几乎任何系统中，简单地提供科学测量和真空控制。
FYRA 特性：
- 易于集成到各类系统中
- 能够驱动多种类型的传感器（例如：压电、热式、主动、被动和电容薄膜规）
- 配备触摸屏和旋钮接口
- 直观显示和管理多个传感器及控制点
- 标准配置包括：
- 用于 PLC 集成的 10 Volt DC 输出
- 用于数据下载及真空处理数据点记录的 USB 接口
DPP Quantum 传感器
DigiVacDPP Quantum 规管是一款超宽量程真空传感器，结合了新型量子皮拉尼与压电技术。
DPP 变送器采用创新的专有方法进行主动温度补偿和校准，提供超稳定的零点。这项技术不仅实现了可靠、宽的动态范围，还消除了因传统皮拉尼和对流规管常见的零点漂移而需要频繁用户重新归零的需求。主动温度补偿还能补偿由环境温度波动引起的测量信号误差。
传感器详情：
测量范围：7.5 x 10 -6 至 1000 Torr
精度规格：
1000 Torr 至 5 Torr = +/- 3%
4.99 Torr 至 10-4 Torr = +/- 14%
10-4 至 10-5 Torr = +/- 50%
- 结合量子皮拉尼与压电技术
- 0-10 Volts 模拟输出用于 PLC 集成
- RS232 接口
- 包含一个用于过程控制的固态继电器
- 压电 + 申请专利中的皮拉尼技术，具有先进的信号处理能力，将测量范围扩展了 3 个数量级。单个规管即可读取 9 个数量级的真空度（10-5 至 1000 Torr）。
- 理想适用于清洁工艺：1000 Torr 降至 10-5 Torr，无需电离规
- 内置挡板以保护并延长传感器寿命
- Quantum DPP 在电气上等同于 Pfeiffer PKR 251，标配 KF16 法兰。可轻松适配 KF25。
应用领域：
- 质谱仪
- 扫描电子显微镜
- 炉热处理
- 玻璃、光学元件、工具等的 PVD 涂层
- 制冷服务与制造
- 半导体加工
| 单位 | Torr, mbar, kPa, Pa, microns (可选 mTorr), millitorr (mTorr), mmHg, Hectopascal |
| 测量范围 | 7.5 x 10-5 至 1000 Torr |
| 尺寸 | 6.5″x6.5″x2.5″ |
| 遥测选项 | USB, WiFi (可选，不包含，需致电订购), 0-10 volts DC, 模拟输出，0-10 volts DC 模拟输入 |
