DigiVac FYRA 高真空规 7.5 x 10-5 至 1000 Torr | TriSENS 规，UL, CSA, CE 认证

FYRA 高真空规 | 皮拉尼与电容压电技术

FYRA 高真空规搭配 TriSENS DPCP 量子传感器，这是一款集皮拉尼、压电和电容薄膜于一体的复合传感器。其测量范围从 1000 Torr 低至 7.5 x 10-5 Torr。TriSENS DPCP 与 FYRA 的联合使用消除了对多个传感器来解读工艺和数据的需求。

简化真空科学

我们深知真空应用可能非常复杂。FYRA 旨在通过简单的集成方式，为市场上几乎任何系统提供科学的测量和真空控制。FYRA 特性：

• 易于集成到各类系统中
• 能够驱动多种类型的传感器（例如压电、热导、主动、被动和电容薄膜规）
• 配备触摸屏和旋钮接口
• 直观显示和管理多个传感器及控制点
• 标准配置包括：
  • 用于 PLC 集成的 10 伏直流输出
  • 用于数据下载及真空处理数据点记录的 USB 接口

TriSens | DPCP 量子传感器

DigiVac TriSens DPCP 量子规 是一款超宽量程真空传感器，结合了新型量子皮拉尼与压电技术，提供 7.5 x 10-5 至 1000 Torr 的测量范围。包含 0-10V 输出、RS232 接口和 1 个继电器。

该传感器为广泛的真空应用确立了全新的全合一宽量程测量标准。这款变送器是一种极具成本效益的整体解决方案，拥有超宽的 9 个数量级量程，其中包含 5 个数量级的气体独立测量。Digivac TriSENS 融合了三种技术：量子Pirani（皮拉尼）、Capacitance（电容）和Piezo（压电）于单一规管中。

传感器详情：

测量范围：7.5 x 10-5 至 1000 Torr
精度规格：
1000 Torr 至 .001 Torr = +/- 3%
.0001 Torr 至 10-5 Torr = +/- 20%

• 结合三种真空技术：MEMS 皮拉尼、电容薄膜和压电技术
• 0-10V 用于 PLC 输入
• 集全合一高真空测量、过程控制和过压指示于一体
• 可靠的固态继电器用于过程控制
• 高达 10 微米 (.01 Torr) 的高精度直接压力测量，以及低至 10-6 的高真空测量
• 超宽 9 个数量级量程，包含 5 个数量级的气体独立测量
• 集成挡板有助于保护传感器元件免受颗粒污染并延长寿命；无需电离规

高真空规优势

• 由结合皮拉尼、电容薄膜和压电技术的全合一规管提供的深且宽的 9 个数量级测量范围
• 6 个数量级的气体独立测量 | 5×10^-3 至 1333 mbar
• 可靠的固态继电器用于过程控制
• 0-10V 用于 PLC 输入
• LED 颜色压力指示器
• 坚固的陶瓷电容薄膜规
• 可任意方向安装而不影响性能

应用领域：

• 质谱仪
• 扫描电子显微镜
• 炉热处理
• 玻璃、光学器件、工具等的 PVD 涂层
• 制冷服务和制造
• 半导体加工