Agilent Turbo Purge Valve 9699242 20 SCCM 1/4 Swagelok x M12
品牌: DigiVac
型号: Agilent Turbo Purge Valve, 20 SCCM with 1/4 Swagelok x M12 | 9699242
安捷伦涡轮分子泵吹扫阀，型号 9699242，具备 20 SCCM 固定流量。配备 1/4 英寸 Swagelok 进气接头与 M12 螺纹接口，专为中型涡轮泵设计，有效防止腐蚀性气体损害。
产品详情
Agilent Turbo Purge Valve 产品详情
这款 Agilent Varian 涡轮吹扫阀具有固定的20 SCCM流量，配备 1/4 英寸气体供应接头，专为大多数带有M12 排气端口螺纹的中型涡轮分子真空泵设计。
- 20 SCCM 流量，1/4 英寸气体供应接头 x M12 接口
- 专用涡轮吹扫阀 (Turbo Purge Valve)
- 部件编号：9699242
每款 Agilent 涡轮吹扫阀均采用安装在 cartridge 中的精密校准蓝宝石孔口，以提供精确的小泄漏率。管路两侧各设有两层特殊的PTFE 膜，旨在防止任何颗粒、粉末或液体进入并堵塞微孔。该阀门的不同版本适用于特定应用场景：
- 小泄漏量（约 10 sccm @ 1000 mbar）：适用于轻度腐蚀性操作，当腐蚀性气体的分压最大为 10⁻⁵ mbar 时（如分析仪器、离子注入机）。
- 大泄漏量（约 20 sccm @ 1000 mbar）：适用于重度腐蚀性操作（如蚀刻、CVD），当腐蚀性气体的分压大于 10⁻⁵ mbar 时。
若需使用不同的流量，可调节供应压力。对于给定的供应压力，气体吹扫阀可提供固定的流量值。请注意，流量大小不取决于阀门真空侧的压力。此涡轮吹扫阀的安捷伦 Varian 部件编号为 PN 969-9242。
兼容以下 Agilent Varian 涡轮泵：
- TwisTorr 74 FS
- TwisTorr 84 FS
- TwisTorr 305 FS
- TwisTorr 305-IC
- TwisTorr 404 FS
- TwisTorr 704 FS
- TwisTorr 804 FS
- Turbo-V 1001
安装手册 (Installation Manual)
