

MKS 275 Convectron 传感器 | NPT 或 KF16 | 对流增强型皮拉尼真空计
品牌: DigiVac
型号: MKS 275 Convectron Sensor | NPT or KF16 | Convection Enhanced Pirani Gauges
MKS 275 Convectron 传感器提供**的粗真空测量重复性,测量范围覆盖 1.0 x 10⁻⁴至 1000 Torr。适用于半导体制造、真空镀膜及冷冻干燥等工业场景,提供 1/8″ NPT 和 ISO KF16 两种接口选项。
产品详情
MKS 275 Convectron 传感器概述
这款 MKS 275 Convectron 传感器为粗真空 gauge 传感器提供了最佳的重复性。其拥有从 10⁻⁴到 1000 mbar/Torr 的宽广测量范围。该技术由 MKS 旗下的 Granville Phillips 部门发明并制造(型号包括 MKS 275071 和 MKS 275203)。
应用领域
该传感器广泛应用于多种工业场景,包括半导体制造、负载锁、检漏、真空镀膜以及冷冻干燥机。具备 0.001 至 1000 Torr 的真空测量范围。
MKS 275 Convectron 传感器主要特点
- 非常适合前级管路测量和真空控制
- 测量范围:1.0 x 10-4至 1000 Torr
- 低成本且设计坚固耐用
- 接口类型:1/8″ NPT 或 ISO KF16
- 1/8″ NPT:0.125 NPT 公头接口 (MKS 275071)
- ISO KF16:NW16 ISO-KF 法兰接口 (MKS 275203)
- 对流增强型皮拉尼真空计可与 DigiVac StrataVac Controller 配合使用,并可通过控制器进行校准以获得最佳精度。同时提供 NIST 认证校准服务(需在结账时添加此选项)。
- 如果您需要替换 GP 275、375 和 475 对流规控制器或其他兼容控制器的真空计,这是理想选择
- 注意:互连电缆需单独购买
- 真空计已针对氮气或空气的直接读数进行校准。除非正确使用 N2到其他气体的准确转换数据,否则请勿尝试与其他气体一起使用。
技术规格
类型:真空计
传感器类型:对流增强型皮拉尼
测量范围:1.0 x 10-4至 1000 Torr
接口类型:1/8″ NPT 或 KF16(取决于所选选项)
灯丝材料:镀金钨
暴露材料:304 不锈钢、硼硅酸盐玻璃、Kovar®、氧化铝、NiFe 合金、聚酰亚胺
烘烤温度:150°C
工作温度:4 – 50°C
安装方向:首选水平安装
内部体积:35 cm3 (2.14 in3)
最大内部压力:150 psi



