Inficon Trigon BCG552 CF40 法兰超高真空复合规

产品概述

Inficon Trigon BCG552 TripleGauge 是一款旗舰级真空传感器，在一个 CF40 真空法兰上集成了三种传感元件。该传感器提供极宽的测量范围，从超高真空 (UHV, 5 x 10-10 Torr) 直至大气压 (ATM, 1500 mbar)。凭借额外的大气压传感器，BCG552 非常适用于差压测量以及作为多种应用中的真空开关。

BCG552 由 Bayard-Alpert 热阴极电离传感器、经典可靠的皮拉尼 (Pirani) 传感器元件以及真空侧的微型电容薄膜规组成。大气压侧则配有一个压电传感器。这种多技术组合降低了安装、设置和集成的复杂性，从而节省了成本和宝贵的设备空间。

核心配置参数

• 型号规格：BCG552 15DSub, 2SP, 40CF-R
• 传感技术：Bayard-Alpert + Pirani + CDG + ATM 传感器
• 测量单位：Torr
• 法兰类型：40 Con Flat (CF40)
• 设定点继电器：2 组
• 电气连接：D-sub, 15-pin, male (DB15)
• 通讯接口：RS232C 串行接口
• 显示屏：无
• 部件号 (PN)：3BC3-G18-3300

主要功能特性

• 超宽量程：集成 3+1 传感元件，覆盖 UHV (5 x 10-10) 至 ATM (1500 mbar)，显著降低成本并节省空间。
• 双灯丝设计：Bayard-Alpert 系统配备 2 个灯丝，在 UHV 和 HV 范围内提供卓越的精度、重复性和使用寿命。
• 气体类型独立性：在高于 10 Torr 的压力下进行与气体类型无关的压力测量，为任何混合气体提供更可靠的负载锁控制。
• 差压测量：消除与大气压变化相关的不确定性。
• 自动调整：自动高真空皮拉尼调整，减少操作员干预。
• 电气隔离： galvanic 隔离电子器件，避免杂散电流。
• 滑动发射模式：避免在切换发射流时出现压力跳跃和冻结现象。
• 兼容性与合规性：可与 VGC50x 控制器系列配合使用，向后兼容 TripleGauge® BCG450，符合 RoHS 标准。

典型应用领域

Inficon Trigon 系列广泛应用于需要低至超高真空范围测量的系统中：

• 半导体工艺、传输室和负载锁腔室内的压力测量
• 工业镀膜
• 半导体工具制造、IDM 和晶圆厂
• 分析仪器
• 显示面板制造
• 制药与医疗
• 真空镀膜
• 工业制造
• 研究与学术机构

电源与兼容性

该规可与任何带有适当 INFICON 信号电缆的真空泵或真空泵系统配合工作。当未与真空控制器或 StrataVac/FYRA 控制器配对使用时，可订购专用的 Digivac 电源进行支持，该电源标配适用于此 Inficon Trigon 规的 DB15 接口。