

DigiVac Portable DASH Catalyst Kit 便携式真空校准套件
品牌: DigiVac
型号: Portable DigiVac DASH Catalyst Kit with Capacitance Manometer Gauges for Calibration
DigiVac DASH Catalyst Kit 是一款专为半导体及制造业设计的便携式真空测量验证工具。套件集成电容薄膜规与宽量程传感器,无需繁琐准备即可快速完成设备匹配与校准,是工程师进行原位真空检测的高效解决方案。
产品详情
产品概述
DASH Catalyst Kit 包含便携式 DASH 测量仪、接头、电容薄膜规(Capacitance Manometer)以及宽量程量子传感器,旨在执行工艺设备的原位真空测量及校准/验证。这是一款简单的单箱工具包,专为需要定期校准真空设备的用户设计,无需四处寻找不同的工具和接头,开箱即用。
套件包含内容
- Bullseye DASH 主机:配备防护磁性保护套
- RJ45 转 DB15 电缆适配器及 USB 电源适配器(含线缆)
- 0.1 Torr 电容薄膜规:作为 0.1 Torr 至 5×10⁻⁴ Torr 范围的标准器
- 1000 Torr 电容薄膜规:作为 1000 Torr 至 10 Torr 压力/真空区域的标准器
- DPCP Quantum 宽量程传感器:测量范围从 7.5×10⁻⁶ 至 1000 Torr
- KF25 和 KF16 接头
- 2 盒 4 节 AA 电池
- 备件清单
- 坚固的便携箱
核心优势
该便携套件旨在简化作为工具匹配和校准过程一部分的传感器验证工作。在此之前,校准和验证工具涉及推入推车并等待数小时才能启动验证过程。DigiVac DASH Catalyst Kit 减少了设置时间和验证时间,既节省资金又提供更小、更便携的解决方案。
- 简单省时:极其简单的验证方法,适用于依赖精确真空测量的半导体和制造行业工具。
- 用户友好:提供执行工具匹配过程时验证真空测量所需的一切。
- 高度便携:流线型设计,易于携带和存放,适用于拥挤且复杂的制造生产车间。
应用领域
适用于半导体、真空镀膜及制造服务行业。由负责保持关键半导体制造和涂层设备处于最佳性能的工程师和技术人员使用。可作为服务技术人员识别和排除真空设备故障的现场控制套件。
- 校准验证、确认和资格认证
- 规管、显示器、泵和工具的真空验证
- 工具匹配(Tool Matching)
- 需要电容薄膜规直接测量精度的研发临时测试系统测量
- 操作人员双重检查安装在工具和真空系统上的仪器
- 作为系统中安装的热规的现场校准标准
Bullseye DASH 技术详解
Bullseye DASH 是首款专为现场或实验室快速可靠压力测量而构建的手持式坚固真空计。它可为广泛的行业标准真空传感器(包括皮拉尼规、冷阴极规、压电规和电容薄膜规)供电并读取数据。
高对比度 LCD 显示屏可显示大型数字读数或实时压力图表,帮助用户快速识别趋势、泄漏和泵送行为。具备电池或 USB 供电、自动关机、磁性安装、报警设定点及可选蓝牙连接功能。
传感器兼容性
支持 DigiVac Quantum 传感器(DPP, DCP, DPCP)以及来自 Kurt J. Lesker, Agilent, Sens4, Inficon, MKS, Pfeiffer, Edwards, Leybold 等领先制造商的规管。
- 兼容常见的电容薄膜规(0.1 至 1000 Torr 范围)
- 适用于流行的Pirani、Piezo 和冷阴极规
- 支持多种接口选项的可拆卸传感器电缆
DASH 特性亮点
- 配备强力磁铁和支架,实现免提操作
- 固态电子元件内置于手持式规管中,使用 4 节 AA 电池供电,配合 Porter CM 可使用 20 小时,配合标准环境电容薄膜规可使用 7 小时
- 具有 12 种不同的测量单位(micron, Torr, Inches of Hg, kPa 等)
- 可选 Micro-USB 电源供电
- 在实际真空下针对 NIST 标准进行校准(NIST 认证和文档为可选)
图表与分析
- 专利真空绘图功能显示真空与时间数据
- 显示屏上的可视化图表可识别当前系统状态
- 真空分析功能可快速识别真空压力趋势
- 图形化显示可快速确定真空度
- 提供蓝牙版本以实现远程监控



