DigiVac StrataVac SmartSENS 真空计 (7.5 x 10^-5 至 1000 Torr | Pirani + Piezo)

品牌: DigiVac
型号: StrataVac SmartSENS Vacuum Gauge 7.5 x 10 -5 to 1000 Torr | Pirani + Piezo Gauge
DigiVac StrataVac SmartSENS 是一款结合新型量子皮拉尼与压电技术的高真空计,测量范围覆盖 7.5 x 10^-5 至 1000 Torr。它无需电离规即可实现宽量程测量,具备稳定的零点漂移补偿功能,是半导体加工、PVD 镀膜及质谱分析等洁净工艺的高性价比选择。

产品详情

产品概述

StrataVac SmartSENS 真空计将 StrataVac 控制器与 DPP Quantum 传感器相结合,采用创新的皮拉尼与压电复合技术,提供从 7.5 x 10^-5 到 1000 Torr 的超宽真空测量范围。这不仅使其成为极具成本效益的高真空测量设备,还因其模块化设计,可轻松升级以包含真空控制功能。

核心组件

  • StrataVac 控制器(含 CM 驱动卡)
  • DPP Quantum 传感器
    • FCC68 接口
    • 传感器电缆

DPP Quantum 宽量程真空传感器特性

  • 结合新型量子皮拉尼技术与成熟的粗真空压电技术,实现跨越 9 个数量级的测量范围。
  • 适用于洁净工艺: 覆盖 1000 Torr 至 10^-6 Torr,无需电离规。内置挡板设计,有效保护并延长传感器寿命。
  • 电气性能等效于 Pfeiffer PKR 251,标配 KF16 法兰,可轻松适配 KF25。

稳定的零点漂移补偿

DPP 变送器采用专有的主动温度补偿和校准方法,提供超稳定的零点。该技术不仅确保了可靠的宽动态范围,还消除了传统皮拉尼和对流规因零点漂移而需要频繁用户重新调零的问题。主动温度补偿还能修正由环境温度波动引起的测量信号误差。

主要应用领域

  • 质谱仪
  • 扫描电子显微镜 (SEM)
  • 炉热处理
  • 玻璃、光学元件及工具的 PVD 镀膜
  • 制冷服务与制造
  • 半导体加工

为何选择 StrataVac?

DigiVac StrataVac 应用广泛,从简单的被动传感器监测到组合多个传感器创建宽量程校准标准以控制真空泵送过程均可胜任。它采用模块化构建模块方法,打造最高效的配置以完成任务。

每台 StrataVac 均在真实真空环境下对照 NIST 标准进行校准和预测试。如需文档,可添加 NIST 校准认证服务。

触手可及的多功能性

用户可根据所需的精度和范围配置传感器,并以可选单位显示压力读数:Torr, mbar, kilopascal 或 millitorr。StrataVac 2018 支持面板安装或台式放置。其拥有广泛的支持矩阵,兼容 Lesker, Agilent, Inficon, MKS 和 Setra 等品牌的大多数电容薄膜规及有源/无源规。

四大主要操作用途

  • 显示控制器: 用于 1-3 个有源和无源真空及压力规。
  • 真空控制器: 能够通过节流真空泵或向容器内注入空气来维持真空度。
  • 继电器控制器: 能够根据真空水平开启/关闭阀门和其他规。
  • 数据绘图与记录: 通过 USB 串行接口使用 Stratacapture 软件实现。

真空工艺设置的三个简单步骤

  1. 将真空规和阀门连接到您的容器中
  2. 将传感器、电源和 I/O 电缆连接到 STRATAVAC
  3. 测量并控制真空

StrataVac 软件连接

通过 StrataVac 上的 USB 端口连接到笔记本电脑上的 StrataCapture 软件:

  • 数据绘图和记录: 使用 Stratacapture 软件显示、绘制和记录真空数据。
  • 观看 DigiVac CEO Tim Collins 演示 vacuumnetwork.org 和 StrataCapture(StrataVac 配套软件)如何工作的视频。