DigiVac StrataVac SmartSENS 真空计 (7.5 x 10^-5 至 1000 Torr)

产品概述

StrataVac SmartSENS 真空计将 StrataVac 控制器与 DPP Quantum 传感器配对，结合皮拉尼 (Pirani) 和压电 (Piezo) 技术，提供超宽范围的真空测量能力。这不仅使其成为极具成本效益的高真空测量仪表，还具备模块化设计，可根据需求升级包含真空控制功能。

测量范围: 7.5 x 10^-5 至 1000 Torr

主要组件

• StrataVac 控制器
  • CM 驱动卡
• DPP Quantum 传感器
  • DB9 连接接口
  • 传感器电缆
  • 电缆适配器

应用领域

• 质谱仪
• 扫描电子显微镜
• 炉热处理
• 玻璃、光学元件、工具等的 PVD 涂层
• 制冷服务与制造
• 半导体加工

DPP Quantum 宽量程真空传感器特性

• 超宽量程真空传感器，结合量子皮拉尼与压电技术
• 结合可靠的粗真空压电技术，将可测真空范围扩展多达 3 个数量级，总覆盖范围达 9 个数量级
• 适用于洁净工艺：无需电离规即可实现从 1000 Torr 到 10^-5 Torr 的测量
• 内置挡板，保护传感器并延长使用寿命
• 电气性能等同于 Pfeiffer PKR 251；标配 KF16 法兰，可轻松适配 KF25

为何选择 StrataVac？

DigiVac StrataVac 应用广泛，从简单的被动传感器监测到组合多个传感器以创建宽范围校准标准并控制真空泵送过程。它采用模块化构建模块方法，打造最高效的配置以完成任务。

每台 StrataVac 均在实际真空环境下对照 NIST 标准进行校准和预测试。如需文档，可额外添加。

触手可及的多功能性

可根据所需的精度和范围配置传感器，并以用户可选的单位显示压力读数：Torr、mbar、kPa 或 mTorr。DigiVac StrataVac 2018 既可面板安装，也可置于台面。其拥有广泛的支持矩阵，兼容 Lesker、Agilent、Inficon、MKS 和 Setra 提供的绝大多数电容薄膜规以及有源和无源规。

四大主要操作用途：

• 显示控制器：用于 1-3 个有源和无源真空及压力规
• 真空控制器：能够通过节流真空泵或向容器内注入空气来维持真空
• 继电器控制器：能够根据真空水平开启/关闭阀门和其他规
• 数据绘图与记录：通过 USB 串行接口使用 Stratacapture 软件实现

使用 STRATAVAC 设置真空工艺的简单三步：

• 将真空规和阀门管路连接至您的容器
• 将传感器、电源和 I/O 电缆连接至 STRATAVAC
• 测量并控制真空