Inficon Trigon BCG552 KF25 法兰超高真空三合一复合规

产品概述

Inficon Trigon BCG552 是一款旗舰级三合一真空计传感器，将三种真空传感元件集成在一个 KF25 法兰中。其测量范围极宽，覆盖从超高真空 UHV (5 x10⁻¹⁰) 到大气压 ATM (1500 mbar)。该设备内置 OLED 显示屏、2 个设定点继电器，并提供 DB15 电气连接及 RS232C 串行输出。

核心技术优势

BCG552 结合了多种先进技术以减少安装复杂度和成本：

• Bayard-Alpert 热电离传感器：配备双灯丝，在 UHV 和 HV 范围内提供卓越的准确性、重复性和使用寿命。
• 皮拉尼 (Pirani) 传感器：经典 robust 设计，确保可靠性。
• 微型电容薄膜规 (CDG)：在大气压范围内具有极高的精度，且不受气体类型影响。
• 大气压侧压电传感器：完善了对大气压的监测能力。

这种多技术组合不仅节省了宝贵的工具空间，还消除了与大气压变化相关的不确定性，特别适合差压测量和作为真空开关使用。

主要功能特性

• 超宽量程：单个传感器实现 3+1 传感元件覆盖，从超高真空到大气压无缝衔接。
• 气体独立性：在高于 10 Torr 的压力下进行与气体类型无关的压力测量，为任何混合气体提供更可靠的负载锁控制。
• 智能控制：自动高真空皮拉尼调整减少操作员干预；滑动发射模式避免切换发射流时的压力跳变和冻结。
• 电气隔离： galvanic 隔离电子元件以避免杂散电流。
• 人机交互：配备明亮的大尺寸 OLED 显示屏（可 90°旋转）和用户界面。
• 兼容性：可与 VGC50x 控制器系列配合使用，并向后兼容 TripleGauge® BCG450。
• 合规性：符合 RoHS 标准。

应用领域

Inficon Trigon BCG552 广泛应用于以下场景：

• 半导体工艺、传输室和负载锁室内的压力测量。
• 工业镀膜工艺。
• 低至超高真空范围内的通用真空测量与控制。
• 半导体工具制造、IDM 和晶圆厂。
• 分析仪器、显示面板制造。
• 制药、医疗及学术研究领域。

供电与连接

该真空计可通过适当的 INFICON 信号电缆与几乎所有真空泵或系统协同工作。若未搭配真空控制器或 StrataVac/FYRA 控制器，可选配专用的 Digivac 电源供应器（标准配备 DB15 接口）以支持此规管运行。