Agilent CDG500 电容薄膜真空计

Agilent CDG500 | 电容薄膜真空计

Agilent CDG500 系列温度补偿电容薄膜真空计在高压区域提供了最高级别的测量精度。全量程测量范围从 1000 到 1 Torr（1333 到 1.3 mbar），可选配 VCR8 或 KF16 法兰接口。

CDG-500 系列采用耐腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片，提供卓越的信号稳定性、从大气压快速恢复的能力、极短的预热时间以及无与伦比的坚固性。

传感器选项

• CDG500T0001VCR8 | CDG-500 电容薄膜真空计，1 Torr，VCR8
• CDG500T0001KF16 | CDG-500 电容薄膜真空计，1 Torr，NW16 KF
• CDG500T0010VCR8 | CDG-500 电容薄膜真空计，10 Torr，VCR8
• CDG500T0010KF16 | CDG-500 电容薄膜真空计，10 Torr，NW16 KF
• CDG500T0100KF16 | CDG-500 电容薄膜真空计，100 Torr，NW16 KF
• CDG500T0100VCR8 | CDG-500 电容薄膜真空计，100 Torr，VCR8
• CDG500T1000KF16 | CDG-500 电容薄膜真空计，1000 Torr，NW16 KF
• CDG500T1000VCR8 | CDG-500 电容薄膜真空计，1000 Torr，VCR8

主要特性

• 全量程范围从 1 到 1000 Torr（1.3 到 1333 mbar），配备按钮归零功能和可选设定点控制，便于集成
• 出色的长期信号稳定性和重复性
• 从大气压快速恢复以及启动后迅速稳定，有效缩短工艺周期时间
• 通过耐腐蚀陶瓷传感器和传感器屏蔽保护实现应用 robustness
• 最高级别的精度（读数的 0.2%）

Agilent CDG500 真空计的优势

• 易于集成
• 长期性能优异 – 可与竞争对手的加热版本相媲美
• 缩短工艺周期时间
• 应用 robustness 强

应用领域

• 薄膜和真空工艺
• 工业真空工艺
• 数据存储
• 半导体生产工艺

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