DigiVac StrataVac 电容薄膜真空计控制器 | 1/10/1000 Torr

产品概述

DigiVac StrataVac 电容薄膜真空计控制器套件专为跨越宽范围（7.6 x 10^-10 至 760 Torr）的真空工艺设计。该套件可测量从粗真空到高真空的压力。用户可选择 1 Torr、10 Torr 或 1000 Torr 量程，也可选择不带传感器的选项以配合现有的薄膜规使用。StrataVac 与环境电容薄膜真空计配对使用，确保高准确度压力测量。

核心优势

• 专为需要高准确度压力测量的工业和实验室应用而设计
• 洁净室合规：传感器双重保护，防止污染
• 通过 USB 端口实现数据记录和捕获
• 采用超纯氧化铝陶瓷膜片，具备耐腐蚀特性
• 信号稳定性极佳，大气恢复速度快，预热时间短

主要功能特点

• 通电后快速稳定，从大气压恢复迅速
• 耐腐蚀陶瓷传感器，寿命卓越
• 温度补偿功能，确保读数准确
• 一键归零功能，操作便捷
• 提供电源并显示测量读数，兼容 StrataVac 和 StrataVac Touch 控制器

典型应用领域

• 半导体制造：
  • 真空刻蚀 | 等离子刻蚀
  • 化学气相沉积 (CVD)
  • 物理气相沉积 (PVD)
  • 原子层沉积 (ALD)
• 数据存储和显示制造设备
• 需要规管保护的一般薄膜和真空工艺
• 根据国际标准监测测试仪器的参考标准
• 可追溯性测量的传递标准
• 工业真空设备
• 高精度压力测量应用

软件与数据管理

通过 StrataVac 上的 USB 端口连接笔记本电脑，即可使用 StrataCapture 软件进行高效的数据管理：

• 数据绘图与记录：利用 StrataCapture 软件通过 USB 串行接口显示、绘制和记录真空数据
• 观看 DigiVac CEO Tim Collins 演示 vacuumnetwork.org 和 StrataCapture 配套软件的工作流程视频

如需便携式电容薄膜真空计，欢迎了解 Bullseye DASH 系列产品。