DigiVac 1000 Torr 电容式真空计 | 高精度真空传感器
品牌: DigiVac
型号: 1000 Torr Capacitance Manometer | High Accuracy Vacuum Sensor
DigiVac 1000 Torr 电容式真空计是一款专为环境温度真空应用设计的高精度全量程传感器。测量范围覆盖 1mT 至 1000 Torr，具备优异的长期信号稳定性、快速恢复能力及耐腐蚀陶瓷传感器，符合洁净室标准，广泛应用于半导体制造及工业真空设备。
产品详情
产品概述
1000 Torr 电容式真空计是一款可靠且高精度的电容规，能够测量从 1mT 到 1000 Torr 的真空度。其测量精度可达满量程的 0.01%，并支持宽范围电源供电。
- 传感器采用双重保护，有效抵御有害污染物
- 从大气压恢复速度快
- 具备卓越的长期信号稳定性
- 符合洁净室合规要求
1000 Torr 电容式真空计主要特性：
- 通电后及从大气压恢复后稳定性快
- 采用耐腐蚀陶瓷传感器
- 出色的长期信号稳定性
- 温度补偿功能
- 洁净室合规：传感器双重防污染保护
- 一键归零功能
- 配备 2 个设定点及 RS232 接口
- 模拟输出：0 至 10 VDC
- 接触介质材料：氧化铝陶瓷、不锈钢 (AISI 316L)
- 合规与标准：CE, RoHS, UL, CSA, EN, 和 SEMI
- 配套电源及显示读数设备：StrataVac 和 StrataVac Touch
环境温度电容规功能
环境温度电容规由氧化铝陶瓷制成的电容传感元件和电子元件组成，可将电容转换为直流电压输出信号。输出信号与测量压力呈线性关系，且不受气体类型影响。
安装规计时请确保无振动发生。1000 Torr 电容式真空计可任意方向安装。为防止冷凝物和颗粒进入测量腔，建议优先选择水平至垂直向上的位置，并可能需使用带定心环和过滤器的密封件。
应用领域：
- 半导体制造
- 真空蚀刻
- 化学气相沉积
- 物理气相沉积
- 原子层沉积
- 数据存储和显示制造设备
- 工业真空设备
- 高精度压力测量应用
