DigiVac 0.10 Torr 电容式真空计 | 高精度真空传感器
品牌: DigiVac
型号: 0.10 Torr Capacitance Manometer | High Accuracy Vacuum Sensor
DigiVac 0.10 Torr 电容式真空计是一款专为环境温度真空应用设计的高精度全量程传感器。具备±0.5% 的典型读数精度，采用耐腐蚀陶瓷传感器，支持快速恢复和长期信号稳定，符合洁净室标准，广泛应用于半导体制造及工业真空设备。
产品详情
产品概述
0.10 Torr 电容式真空计是一款可靠且高精度的电容规，测量范围可达 0.10 Torr。其精度范围为0.05% 至 1%，典型精度为±0.5% 读数。
- 传感器双重防护，免受有害污染物侵害
- 从大气压快速恢复
- **的长期信号稳定性
- 符合洁净室标准
0.10 Torr 电容式真空计主要特性：
- 通电后及从大气压恢复后迅速稳定
- 耐腐蚀氧化铝陶瓷传感器
- **的长期信号稳定性
- 温度补偿功能
- 符合洁净室标准：传感器双重防污染保护
- 一键归零功能
- 配备 2 个设定点和 RS232 接口
- 模拟输出：0 至 10 VDC
- 接触材料：氧化铝陶瓷、不锈钢 (AISI 316L)
- 合规与标准：CE, RoHS, UL, CSA, EN, 和 SEMI
- 电源及显示测量读数兼容：StrataVac 和 StrataVac Touch
环境电容规功能原理
环境电容规由氧化铝陶瓷制成的电容传感元件和电子元件组成，可将电容转换为直流电压输出信号。输出信号与测量压力呈线性关系，且不受气体类型影响。
安装规计时请确保无振动发生。1000 Torr 电容式真空计可按任意方向安装。为防止冷凝物和颗粒进入测量室，建议优先选择水平至垂直的安装位置，并可能需使用带定心环和过滤器的密封件。
应用领域：
- 半导体制造
- 真空蚀刻
- 化学气相沉积
- 物理气相沉积
- 原子层沉积
- 数据存储和显示制造设备
- 工业真空设备
- 高精度压力测量应用
