DigiVac 1 Torr 电容式真空计 | 高精度压力传感器

产品概述

DigiVac 1 Torr 电容式真空计是一款可靠的电容规，能够以高达满量程 0.01% 的精度测量 1 mTorr 至 1 Torr 范围内的真空度。该 ACG 系列环境真空计专为在环境温度下的真空应用而设计，提供双重重保护以防有害污染物侵害，并能从大气压力下快速恢复，确保卓越的长期信号稳定性。

核心特性

• 通电后及从大气压恢复后具有极快的稳定性
• 采用耐腐蚀陶瓷传感器
• 卓越的长期信号稳定性
• 温度补偿功能
• 符合洁净室标准：传感器双重防污染保护
• 一键归零功能
• 配备 2 个设定点及 RS232 接口
• 模拟输出：0 至 10 VDC
• 接触材料：氧化铝陶瓷、不锈钢 (AISI 316L)
• 合规与标准：CE, RoHS, UL, CSA, EN, 及 SEMI
• 电源与显示读数可搭配 StrataVac 和 StrataVac Touch 控制器使用

工作原理

环境电容规由氧化铝陶瓷制成的电容传感元件和电子元件组成，可将电容转换为直流电压输出信号。输出信号与测量压力呈线性关系，且不受气体类型影响。

安装真空计时请确保无振动发生。环境真空计可按任意方向安装。为防止冷凝物和颗粒进入测量室，建议优先选择水平至垂直向上的安装位置，并可能需要使用带定心环和过滤器的密封件。

应用领域

• 半导体制造
  • 真空蚀刻
  • 化学气相沉积 (CVD)
  • 物理气相沉积 (PVD)
  • 原子层沉积 (ALD)
• 数据存储和显示制造设备
• 工业真空设备
• 高精度压力测量应用