DigiVac DCP Quantum | DuoSENS 电容压电真空传感器 0.01-1000 Torr

产品概述

DigiVac DCP Quantum DuoSENS 是一款专为高精度过程控制设计的电容压电真空传感器。它在 0.01 至 1000 Torr 范围内提供五个数量级的独立于气体的真空测量能力（精度 +/- 3%），完美替代传统的 10 Torr 电容薄膜规。该设备将电容薄膜规与压电技术融为一体，以极具竞争力的价格提供最宽的直接压力测量范围。

核心特性

• 五数量级测量范围：覆盖 0.01 – 1000 Torr，精度为 +/- 3%，无需针对不同气体进行校正。
• 单一传感器替代方案：可用一台设备替代多台不同量程的电容薄膜规，简化系统配置。
• 可视化压力指示：配备多色 LED 灯直观显示当前压力范围，并设有明亮的黄色超压指示灯，在无显示控制器的情况下也能有效防止系统损坏。
• 防污染设计：内置挡板结构，有效保护传感器元件免受颗粒物污染，显著延长传感器使用寿命。
• 标准接口与交期：采用 DB9 连接版本（如需 FCC68 版本请咨询），标准交货期为2 周。

技术优势

DCP Quantum 变送器确立了新的行业标准，为广泛的真空应用提供了一体化测量解决方案：

• 在 1000 Torr 至 0.01 Torr 范围内实现高可靠性的固态继电器过程控制。
• 提供 0-10V 模拟输出，便于与 PLC 进行简单的压力通讯。
• 具备压电传感器自动归零功能，确保长期测量的稳定性。
• 低功耗、环保的小型化包装设计。

典型应用领域

• PVD 物理气相沉积镀膜
• 等离子体灭菌
• 冷冻干燥工艺
• 负载锁（Load-lock）控制
• 炉膛热处理

Quantum 系列的飞跃

Quantum gauge 系列代表了真空测量在简便性和量程上的巨大飞跃。通过智能配对传感器技术，DCP Quantum DuoSENS 让用户无需同时使用粗真空传感器和传统窄量程电容薄膜规，即可在一个小型化包装中完成所有直接压力测量任务，实现了高性价比的一体化高精度宽量程真空测量。