DigiVac DPCP Quantum | TriSENS 宽量程真空传感器
品牌: DigiVac
型号: DPCP Quantum | TriSENS Wide Range Vacuum Sensor, Pirani & Capacitive Piezo 7.5×10-5 to 1000 Torr
DigiVac TriSENS 宽量程真空传感器集高真空测量、工艺控制和过压指示于一体。采用皮拉尼、电容和压电三重技术，测量范围覆盖 7.5×10-5 至 1000 Torr，具备陶瓷涂层耐腐蚀特性及多色 LED 视觉指示功能。
产品详情
深广域真空测量
DigiVac TriSENS 宽量程真空传感器 delivers 高真空测量 + 工艺控制 + 过压指示 全能合一。
结合高达 10 微米 (.01 Torr) 的高精度直接压力测量与低至 10-5 的高真空测量能力。
测量范围：7.5×10-5 至 1000 Torr
精度规格：
1000 Torr 至 .001 Torr = +/- 3%
.0001 Torr 至 10-5 Torr = +/- 20%
污染防护
集成挡板有助于保护传感器元件免受颗粒污染并延长使用寿命。陶瓷涂层传感器具有更强的耐受性，对溶剂或任何污染物的反应更低。这种耐受性使您可以清洁传感器，使其同样具备耐腐蚀特性。
可视化工艺指示器
多色 LED 指示压力范围。包含明亮的黄色过压指示器，帮助您避免系统损坏。在不使用显示控制器时非常有用。
DPCP Quantum | TriSENS 真空传感器树立了新的标准，提供适用于各种真空应用的一站式宽量程测量解决方案。该变送器是一种极具成本效益的整体解决方案，拥有超宽的 9 个数量级量程，其中包括 5 个数量级的气体独立测量。Digivac TriSENS: Quantum Pirani（皮拉尼）、Capacitance（电容）、Piezo（压电）全合一规管。
优势
- 通过结合皮拉尼、电容规和压电技术的全合一规管，提供 9 个数量级的深广测量范围
- 6 个数量级的气体独立测量 | 5×10-3 至 1333 mbar
- 可靠的固态继电器用于工艺控制
- 0-10V PLC 输入
- LED 颜色压力指示器
- 坚固的陶瓷电容薄膜规
- 可任意方向安装而不影响性能
应用领域
- PVD 镀膜设备
- 冷冻干燥终点检测
- 负载锁控制
- 质谱分析
- 扫描电子显微镜
- 半导体
- 科学研究
- 真空泵服务
- 热处理、真空炉
安装接口选项
DigiVac 的 Quantum 传感器标配 KF16 接口。如果您需要替代连接方式，我们也仅按要求提供KF25 和 Conflat接口。如果您希望购买这些替代选项，请提交产品咨询。
为何 Quantum 规管系列是真空测量的量子飞跃？
Quantum 规管系列在真空测量的简便性和量程上实现了量子飞跃。智能配对传感器技术，交付用户真正所需的功能。
全合一，极具成本效益的高精度宽量程真空测量。
其他 DigiVac Quantum 规管系列选项：DPP SmartSENS, DCP DuoSENS
