Extorr MAN63S 探针歧管
品牌: extorr
型号: MAN63S
Extorr XT系列MAN63S探针歧管，高导通真空三通接头，配备2个DN 40 CF法兰和63 ISO泵法兰，采用304不锈钢制造，用于连接气体进样阀与四极杆探针至高真空泵系统，确保RGA残余气体分析仪获得高抽速并降低背景气体干扰。
产品详情
产品概述
Extorr XT系列探针歧管（Probe Manifolds）是专为残余气体分析（RGA）系统设计的高导通真空三通接头。该产品用于连接气体进样阀和Extorr四极杆探针至高真空泵，确保RGA获得高抽速，从而有效减少背景气体干扰，提升分析精度。
产品特点
- 高导通设计：真空三通结构确保从RGA探针到高真空泵之间维持高抽速，降低背景气体干扰
- 优质材料：所有歧管均采用304不锈钢制造，具有优异的耐腐蚀性和真空兼容性
- 标准化法兰接口：配备2个2.75英寸（DN 40 CF）ConFlat法兰，分别用于RGA探针和气体进样口
- 泵法兰兼容性：配备63 ISO法兰，可适配大多数涡轮分子真空泵
- 完整配件：随附不锈钢安装硬件及CF法兰用铜密封垫圈（适用于2.75英寸CF法兰）
技术参数
- 品牌：Extorr
- 型号：MAN63S
- 系列：XT Series Probe Manifolds
- 材质：304不锈钢
- 探针/进样口法兰：2 × 2.75英寸（DN 40 CF）ConFlat法兰
- 泵法兰：63 ISO法兰
- 密封垫圈：CF铜垫圈（适用于2.75英寸CF法兰）
- 安装配件：不锈钢安装硬件（随附）
应用领域
Extorr MAN63S探针歧管广泛应用于高真空系统中的残余气体分析，适用于半导体制造、材料科学研究、真空镀膜、表面分析等需要将RGA探针与高真空泵高效连接的场合。
